OLED前后道制造工藝中,隨著產(chǎn)品升級(jí)與工藝革新的不斷要求,對(duì)異物管控的要求也將日益提高,特別在異形狀、曲面、撓性等OLED有機(jī)發(fā)光屏的制程工藝上,對(duì)清潔度、清潔度、良率、人工、成本等的要求也是日益增進(jìn)。旋風(fēng)非接觸式精密除塵設(shè)備在OLED屏制造領(lǐng)域的應(yīng)用有如下舉例:
1.OLED屏-手機(jī)、平板、顯示器-貼合工藝中的設(shè)備前、設(shè)備內(nèi)置除塵除異物單元(對(duì)平面、異形狀、曲面、撓性O(shè)LED屏的清潔)


2.柔性OLED的基板材料PI,在通過(guò)載板玻璃激光剝離后,浮塵異物的清潔

3.OLED基板玻璃激光剪切后,精密加工平臺(tái)的接觸式旋風(fēng)除塵除異物。OLED (Flexible、Rigid) Laser Cut Stage 精密加工平臺(tái)


4.發(fā)光pattern的清潔

